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涂層測(cè)厚儀測(cè)量涂層厚度的方法
2012-09-16
涂層測(cè)厚儀的測(cè)量方法主要有：楔切法，光截法，電解法，厚度差測(cè)量法，稱重法，X射線熒光法，β射線反向散射法，電容法、磁性測(cè)量法及渦流測(cè)量法等等。這些方法中前五種測(cè)量方法均為有損檢測(cè)，且測(cè)量手段復(fù)雜，測(cè)算結(jié)果速度慢等缺點(diǎn)，目前多在抽檢活動(dòng)中使用。
X射線和β射線法是無(wú)接觸無(wú)損測(cè)量，且裝置復(fù)雜昂貴，測(cè)量范圍較小。同時(shí)這類測(cè)量方式帶有放射源，使用者必須遵守射線防護(hù)規(guī)范。在測(cè)量厚度上X射線法可測(cè)極薄鍍層、雙鍍層、合金鍍層。β射線法適合鍍層和底材原子序號(hào)大于3的鍍層測(cè)量，電容法僅在薄導(dǎo)電體的絕緣覆層測(cè)厚時(shí)采用。
隨著技術(shù)的日益進(jìn)步，特別是近年來(lái)計(jì)算機(jī)技術(shù)的引入，磁性法和渦流法測(cè)量的涂層測(cè)厚儀向微型、智能、多功能、高精度、實(shí)用化的方向邁進(jìn)了一步。測(cè)量精度有了大幅度的提高，分辨率達(dá)到0.1微米，精度達(dá)到1%。它適用范圍廣，量程寬、操作簡(jiǎn)便且價(jià)廉，是工業(yè)和科研使用最廣泛的測(cè)厚儀器。
采用無(wú)損方法既不破壞覆層也不破壞基材，檢測(cè)速度快，能使大量的檢測(cè)工作經(jīng)濟(jì)地進(jìn)行，這些優(yōu)點(diǎn)使得具有無(wú)損特性的涂層測(cè)厚儀得到廣大企業(yè)的熱烈追捧。
X射線和β射線法是無(wú)接觸無(wú)損測(cè)量，且裝置復(fù)雜昂貴，測(cè)量范圍較小。同時(shí)這類測(cè)量方式帶有放射源，使用者必須遵守射線防護(hù)規(guī)范。在測(cè)量厚度上X射線法可測(cè)極薄鍍層、雙鍍層、合金鍍層。β射線法適合鍍層和底材原子序號(hào)大于3的鍍層測(cè)量，電容法僅在薄導(dǎo)電體的絕緣覆層測(cè)厚時(shí)采用。
隨著技術(shù)的日益進(jìn)步，特別是近年來(lái)計(jì)算機(jī)技術(shù)的引入，磁性法和渦流法測(cè)量的涂層測(cè)厚儀向微型、智能、多功能、高精度、實(shí)用化的方向邁進(jìn)了一步。測(cè)量精度有了大幅度的提高，分辨率達(dá)到0.1微米，精度達(dá)到1%。它適用范圍廣，量程寬、操作簡(jiǎn)便且價(jià)廉，是工業(yè)和科研使用最廣泛的測(cè)厚儀器。
采用無(wú)損方法既不破壞覆層也不破壞基材，檢測(cè)速度快，能使大量的檢測(cè)工作經(jīng)濟(jì)地進(jìn)行，這些優(yōu)點(diǎn)使得具有無(wú)損特性的涂層測(cè)厚儀得到廣大企業(yè)的熱烈追捧。
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