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日立 H-9500 透射電子顯微鏡
名稱：光學(xué)測試儀器
品牌：
型號：
簡介：原子分辨率300kV透射電子顯微鏡在精細(xì)加工技術(shù)已進(jìn)入到亞納米級水平的半導(dǎo)體，先進(jìn)材料的研發(fā)領(lǐng)域，原子分辨率電子顯微鏡正在成為日益重要的，不可或缺的工具。為了滿足這種高端需求，日立高新技術(shù)公司研發(fā)出了H -9500透射電子顯微鏡，此款高分辨...
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- 產(chǎn)品介紹
原子分辨率300kV透射電子顯微鏡在精細(xì)加工技術(shù)已進(jìn)入到亞納米級水平的半導(dǎo)體，先進(jìn)材料的研發(fā)領(lǐng)域，原子分辨率電子顯微鏡正在成為日益重要的，不可或缺的工具。為了滿足這種高端需求，日立高新技術(shù)公司研發(fā)出了H -9500透射電子顯微鏡，此款高分辨透射電子顯微鏡不僅具備實(shí)地驗(yàn)證過的各種優(yōu)秀性能，而且配置了很多滿足客戶多種需求的獨(dú)特功能，并采用了最新的數(shù)字技術(shù)，便于用戶及時快速獲取原子水平的樣品結(jié)構(gòu)信息。
原子分辨率300kV透射電子顯微鏡
在精細(xì)加工技術(shù)已進(jìn)入到亞納米級水平的半導(dǎo)體，先進(jìn)材料的研發(fā)領(lǐng)域，原子分辨率電子顯微鏡正在成為日益重要的，不可或缺的工具。為了滿足這種高端需求，日立高新技術(shù)公司研發(fā)出了H -9500透射電子顯微鏡，此款高分辨透射電子顯微鏡不僅具備實(shí)地驗(yàn)證過的各種優(yōu)秀性能，而且配置了很多滿足客戶多種需求的獨(dú)特功能，并采用了最新的數(shù)字技術(shù)，便于用戶及時快速獲取原子水平的樣品結(jié)構(gòu)信息。
備注：FPD（平板顯示器）上的圖像為模擬圖像。
（*）:Windows®是微軟公司在美國及其他國家所注冊的商標(biāo)。
| 分辨率 | 0.10nm（晶格分辨率） | |
| 0.18nm（點(diǎn)分辨率） | ||
| 加速電壓 | 300kV, 200kV（*1）, 100kV（*1） | |
| 放大倍率 | 連續(xù)放大模式 | 1,000 - 1,500,000× |
| 選區(qū)模式 | 4,000 - 500,000× | |
| 低倍模式 | 200 - 500× | |
| 電子槍 | 燈絲 | LaB6（六硼化鑭燈絲，直流加熱） |
| 燈絲交換 | 自動升降式電子槍 | |
| 高壓電纜 | 阻抗電纜 | |
| 照射系統(tǒng) | 透鏡 | 四級透鏡 |
| 聚光鏡光闌 | 4孔可變 | |
| 探針尺寸 | 微米束模式：0.05 - 0.2µm（4級） | |
| 納米束模式：1 - 10nm（4級） | ||
| 電子束傾斜 | ±3° | |
| 成像系統(tǒng) | 透鏡 | 五級透鏡 |
| 聚焦 | 圖像搖擺調(diào)整 | |
| 利用像散監(jiān)視器進(jìn)行正焦補(bǔ)償 | ||
| 聚焦優(yōu)化 | ||
| 物鏡光闌 | 4孔可變光闌 | |
| 選區(qū)光闌 | 4孔可變光闌 | |
| 電子衍射 | 選區(qū)電子衍射 | |
| 納米探針電子衍射 | ||
| 會聚束電子衍射 | ||
| 相機(jī)長度 | 250 - 3,000mm | |
| 樣品室 | 樣品臺 | 5軸優(yōu)中心海帕測角臺 |
| 樣品尺寸 | 3mmΦ | |
| 樣品位置追蹤 | X/Y = ±1mm, Z = ±0.3mm | |
| 通過CPU控制馬達(dá)驅(qū)動 | ||
| 樣品位置顯示 | 自動驅(qū)動，自動跟蹤 | |
| 樣品傾斜 | α = ±15°, β = ±15° | |
| （日立雙傾樣品臺（*2）） | ||
| 防污染 | 冷阱 | |
| 烘烤功能 | 中溫烘烤功能 | |
| 觀察室 | 熒光屏 | 主屏：110mmΦ |
| 聚焦屏：30mmΦ | ||
| 目鏡 | 7.5× | |
| 照相室 | 區(qū)域選擇 | 整張照相/半張曝光 |
| 膠片 | 25張（2套膠片盒） | |
| 圖形用戶界面 | 操作系統(tǒng)：Windows XP®（*3） | |
| 顯示器 | 19英寸顯示器 | |
| 功能 | 數(shù)據(jù)庫，測量，圖像處理 | |
| 數(shù)碼CCD 相機(jī)（*4） | 相機(jī)耦合 | 透鏡耦合 |
| 有效像素 | 1,024 × 1,024 像素 | |
| A/D 分辨率 | 12 位 | |
| 真空系統(tǒng) | 電子槍 | 離子泵：60L/s |
| 鏡筒 | 渦輪分子泵：260L/s | |
| 觀察室/照相室 | 擴(kuò)散泵：280L/s | |
| 前級泵：135L/min × 3 臺 | ||
（*1）：放大倍率校準(zhǔn)為可選項(xiàng)
（*2）：可選件
（*3）：Windows XP是微軟公司在美國和其他國家的注冊商標(biāo)
（*4）：本規(guī)格適用于可選的1,024 × 1,024像素的數(shù)碼CCD相機(jī)
以上規(guī)格是在加速電壓為300kV時的承諾
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