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牛津儀器 Ionfab 300 IBD離子束沉積
名稱：其他儀器與工具
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型號：
簡介：牛津儀器 Ionfab 300 IBD離子束沉積能夠生產(chǎn)具有高質(zhì)量，致密和表面光滑的沉積薄膜。離子束技術(shù)提供了一種多樣的刻蝕和沉積的方法，并可在同一設(shè)備上實現(xiàn)， 因而提高系統(tǒng)的利用率。我們的設(shè)備具有靈活的硬件選項，包括直開式、單襯底傳送模式...
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- 產(chǎn)品介紹
牛津儀器 Ionfab 300 IBD離子束沉積能夠生產(chǎn)具有高質(zhì)量，致密和表面光滑的沉積薄膜。離子束技術(shù)提供了一種多樣的刻蝕和沉積的方法，并可在同一設(shè)備上實現(xiàn)， 因而提高系統(tǒng)的利用率。我們的設(shè)備具有靈活的硬件選項，包括直開式、單襯底傳送模式和盒式對盒式模式。系統(tǒng)規(guī)格與實際應(yīng)用緊密協(xié)調(diào)，以確保獲得速率更快且重復(fù)性更好的工藝結(jié)果。
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多模式功能
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能夠與其它等離子體刻蝕和沉積設(shè)備相集成
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單晶圓傳送模式或集群式晶圓操作
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雙束流配置
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更低的表面薄膜粗糙度
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更佳的批次均勻性和工藝重復(fù)性
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準確終點監(jiān)測 —— SIMS，發(fā)射光譜
牛津儀器 Ionfab 300 IBD離子束沉積特點
- 質(zhì)量薄膜高 ——超低污染
- 產(chǎn)量高，緊湊的系統(tǒng)體積設(shè)計——運行成本低
- 已獲得專利的高速襯底架（高達1000RPM）設(shè)計，并配備了白光光學(xué)監(jiān)視器（WLOM）——更為精確的實時光學(xué)薄膜控制
- 配置靈活 ——適于先進的研究應(yīng)用
- 靈活的晶圓操作方式 —— 直開式、單晶圓傳送模式或者帶機械手臂的盒對盒模式
牛津儀器 Ionfab 300 IBD離子束沉積特點應(yīng)用
- 磁阻式隨機存取存儲器（MRAM）
- 介電薄膜
- III-V族光電子材料刻蝕
- 自旋電子學(xué)
- 金屬電極和軌道
- 超導(dǎo)體
- 激光端面鍍膜
- 高反射（HR）膜
- 防反射（AR）膜
- 環(huán)形激光陀螺反射鏡
- X射線光學(xué)系統(tǒng)
- 紅外（IR）傳感器
- II-VI族材料
- 通信濾波器
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